“很好，能量均匀性达到了95%，已经超过预期。”许志远点了点头，脸上浮现出一丝满意的笑容。
接下来，他需要解决光源的能量稳定性问题。他从材料堆中取出一块特制的能量调节模块，安装在激光器的输出端口上。这个模块能实时监控光束的能量变化，并自动进行调整，确保输出光束始终保持在设定范围内。
“光源系统，完成第一阶段。”许志远合上激光器的盖板，目光中透着一抹坚定。
第二步：光学投影系统的制造
光学投影系统是光刻机的核心之一，它的作用是将掩模版上的电路图案精准地投影到硅片上。而这一过程对镜头的精度要求极高，镜片需要达到亚纳米级的加工精度，才能确保投影的清晰度和精准度。
许志远走到小世界的一台精密加工设备前。机器的外观像是一台放大版的车床，但它的内部却装备了世界顶尖的光学加工技术。
“系统，加载镜片加工程序。”他输入指令，设备立刻开始运转。
一块直径50厘米的光学玻璃被装载到设备中，许志远亲手调试了加工参数。这块玻璃将被打磨成一块具有多层镀膜的反射镜，每一层镀膜的厚度都必须精确到纳米级。
加工过程中，他的目光始终紧盯着屏幕上的参数变化，手指不时在控制面板上轻轻敲击，实时调整加工进度。
几个小时后，第一块镜片加工完成。许志远将镜片取下，放在光学检测仪下仔细检查。
“表面光滑度达到了0.2纳米，反射率接近理论极限。”他嘴角微扬，将镜片放入光学系统的框架中。
接下来，他需要加工更多的镜片，并将它们组装成一个多层反射镜组。这个过程极为复杂，但许志远的动作始终流畅而稳健，仿佛这是一场早已演练过无数次的操作。
第三步：步进扫描平台的设计
光刻机的步进扫描平台负责移动硅片，并确保硅片的位置误差不超过1纳米。这需要极高的机械精度和控制精度。
“机械精度和控制精度……这才是最考验人的地方。”许志远摸了摸下巴，目光落在一堆高强度金属材料上。
他先用数控机床加工出平台的框架，再安装上高精度的导轨和伺服电机。为了提高平台的稳定性，他在机床上将导轨的表面打磨到镜面光滑，并采用特殊的减震材料对框架进行加固。
随后，他开始调试伺服控制系统。这套系统由系统提供的算法支持，可以实时校正平台的运动轨迹，确保硅片在扫描过程中始终保持在设定的轨道上。
“系统，运行控制模拟。”许志远输入指令，平台立刻开始运转。
屏幕上显示出平台的运动轨迹，误差范围始终保持在0.5纳米以内。
“不错，这个精度已经足够了。”他满意地点了点头。
第四步：掩模版与光刻胶的研发
掩模版是光刻机的“模具”，它决定了芯片电路的具体形状和尺寸。许志远从材料堆中取出一块特制的金属板，开始在上面刻蚀电路图案。
他使用的是系统提供的高精度刻蚀设备，这台设备能够在金属表面刻出精确到纳米级的图案。
“完成！”当第一块掩模版刻蚀完成时，许志远长舒了一口气，将它放入光学系统中进行测试。
接下来，他需要研发一种新型的光刻胶。这种材料必须对光线高度敏感，同时具备良好的化学稳定性。
“光刻胶……”许志远走到实验台前，开始调配化学试剂。他根据系统提供的配方，精确地称量每一种成分，将它们混合在一起。
“反应完成，实验光刻胶生成。”许志远将一滴光刻胶涂在硅片上，放入光刻机中进行测试。
许志远在小世界中埋头苦干，时间仿佛凝固了一般。他的动作越来越快，思路越来越清晰，每一个步骤都精准无误。
当最后一颗螺丝拧上时，他站在光刻机的面前，嘴角浮现出一抹笑意。
“光刻机，一号样机，完成！”他轻轻擦了擦额头的汗水，目光中闪过一抹自信。
“接下来，就让那些人见识一下，什么叫真正的技术实力。”
……
自从上次会后，许志远带着材料回到轧钢厂的技术实验室，便像人间蒸发了一般。
实验室门从早到晚紧闭，他也几乎不再露面。
轧钢厂的技术科员们起初还以为许志远要大干一场，整天围着实验室门口窃窃私语，等着看他搞出什么“动静”。
可是等了两天、三天……甚至一个星期过去了，实验室里却始终安安静静，连台机器的轰鸣声都没听到。
“你们说，许志远到底在搞什么名堂？”食堂里，几个技术科员围在一张桌子旁，端着饭碗小声议论。
“还能搞啥？”一个年轻的小王撇了撇嘴，压低声音说道，
“依我看，他就是怂了！搞光刻机？那可是世界级的技术难题，他估计现在被吓住了，连怎么开始都不知道吧！”
老李放下筷子，皱着眉头嘀咕道：“话也不能这么说，志远这人以前干过不少大事，数控机床、汽车发动机……哪个不是他说干就干成了的？这次虽然难，但也不至于一点动作都没有吧？”
“嗐，老李，你是不是被他以前的成绩迷住了？”另一名技术员冷笑一声，
“这光刻机可不是数控机床，也不是汽车发动机，那些东西顶多是国内技术的突破，可光刻机是国际尖端技术啊！
国外那些资本主义国家投了几十年、耗费无数资源才搞出个雏形来，他一个人能干成？别开玩笑了！”
“我看啊，”年轻的小王接过话茬，一副看透一切的样子，“他八成是在实验室里瞎琢磨，心里早就慌了。说不定过几天就出来承认失败了！”
“等着看吧。”有人低声笑道，“这次，他可是把话放出去了，光刻机搞不成，他自己的脸往哪搁？”
几个人互相对视一眼，忍不住轻笑出声。
……
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