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第182章 设备联合调试(上)

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林孟松用手套擦掉额头的汗水,高兴的说道:“乔总,所有设备都已经安装到位,明天就可以开启生产线,进行联合调试了。”

听到这个好消息,乔瑞达也颇为高兴,“林博士,辛苦你了。你估计联合调试需要用多长时间,咱们这条芯片生产线,什么时候可以进行生产测试?”

林孟松沉吟一下说道:“其实设备安装到位之后,整条生产线就可以全部运转起来了,联合调试的过程,也是生产芯片的过程。不过前期有太多的参数需要摸索,产品合格率很可能是零。大概半个月内能出现第一片合格的芯片,一个月内可以把芯片合格率提升到20%左右。此后就是漫长的优化工艺流程的时间,在一到两年之内,能够将合格率提升到90%以上,就算成功。”

乔瑞达继续问道:“原来是这样,那联合调试期间可以生产28nm工艺的芯片吗?我们瑞达科技前段时间,设计了一款28nm的蓝牙芯片,想要进行流片测试,找遍国内所有晶圆代工厂,却都加工不了。如果咱们自己的生产线能做,我就不去找台积电代工了。”

“这条芯片生产线,配备了最新的dUV光刻机,最小加工精度就是28nm,只需一次曝光就可以生产28nm的芯片。你们瑞达科技设计的芯片完全可以拿到这里来流片测试,只是咱们这里并不具备掩膜版加工设备,你需要去别的公司或实验室,定制几套掩膜版才可以。”

“掩膜版我来搞定,过两天就给你送过来,剩下的工作就拜托林博士了。”乔瑞达的次元空间内,就有一套从北大集成电路实验室复制来的芯片生产设备,其中就有加工芯片掩膜版的设备,用来生产这颗全新的蓝牙芯片的掩膜版勉强够用了。

“乔总客气了,受人之托,忠人之事,我会尽快调整生产线,争取早日生产出合格的28nm蓝牙芯片。”

接下来的时间,乔瑞达依次进入四个无尘车间,打开金手指,将安装完成的芯片生产线、芯片测试线、和芯片封装线,全部拍摄了下来。当天晚上,回到家之后,乔瑞达将意识沉入次元空间,开启金手指,将白天拍摄到的所有设备,在次元空间内又复制了一套出来,所有设备的安装位置,连线,全部和外界一摸一样。之后乔瑞达调集了大量的次元投影,到这套全新的生产线上去工作。

乔瑞达先是找出一张28nm蓝牙芯片的设计图纸,给部分次元投影下达指令,按照设计图纸,生产了四套蓝牙芯片的掩膜版出来。而后乔瑞达拿出一套掩膜版,安装到了光刻机上。这条最新的芯片生产线,与次元空间内原有的那套老古董生产线相比,要先进了很多,使用的硅晶圆从六寸提高到了八寸,使用到的光刻胶和掺杂材料也有所不同。好在这些原材料乔瑞达都有所准备,缺什么,只需要打开相应照片,批量复制就好,要多少有多少。

临睡觉前,乔瑞达给次元投影下达了批量生产28nm蓝牙芯片的命令。看到生产线上的所有设备都运转了起来,所有次元投影也开始忙碌。整个芯片生产流程,有几百道工序,全部跑完至少需要十个小时以上。乔瑞达在次元空间内看了一会儿,感觉有些困倦,于是意识退出次元投影,翻个身,睡了过去。

第二天早晨,生物钟准时将乔瑞达唤醒,在起床之前,他的意识进入次元空间看了一下。经过一个晚上的工作,次元投影已经生产出了一大批的半成品芯片。不过这些芯片,经过后续测试,全部是报废产品,一枚能用的都没有。意念一动,有两枚半成品芯片出现在乔瑞达手上,打开金手指,对这两颗芯片进行了拍照分析。结果很不乐观,这两个半成品芯片上,存在这大大小小无数个缺陷,不是晶圆光刻不到位,就是刻蚀不彻底,要不就是涂抹光刻胶不均匀,局部区域造成了过曝,掺杂过程中也是错漏百出。有这么多的缺陷存在,芯片要是能够正常使用,那才真的是见鬼了。

乔瑞达睁开眼睛,喃喃自语道:“看来光有先进设备是真的生产不出来合格的芯片,必须有一些能人大牛对生产线进行全面的调试才行。难怪前世英特尔那么牛x的公司,也迟迟搞不定7nm制程工艺,需要把自家最先进的处理器交给台积电代工了。”

吃过早饭之后,乔瑞达开车来到瑞达电子厂,然后跟着林孟松和王成业两人的团队后面,进入无尘车间,对安装好的芯片生产线,进行开机调试。林孟松和王成业二人,一个是国外的技术大牛,一个是国内集成电路方面的权威,二人在芯片生产方面,都有着丰富的经验,对这些设备参数的设置,驾轻就熟。乔瑞达跟在二人的后面,仔细观看学习设备调试过程,碰到看不明白的地方,他还会当场提出问题。碍于乔瑞达的身份,他们多半会给出如此设置的原因。但也有一些参数,是纯粹的经验积累获得,并没有什么具体的计算公式,乔瑞达只好拿出一个小本本,将这些经验参数记录下来。

在观看学习的同时,乔瑞达顺便对次元空间中的芯片生产设备,进行了同步调节,以保证内外设备参数完全一致。

此后几天,众人一直泡在一号无尘车间内,每天工作的时间,至少在十个小时以上。期间,整条生产线全部开机,测试生产了两次,结果产品全军覆没,合格率为零。一周之后,所有工作人员全部穿上无尘服,进入一号无尘车间,各就各位之后,随着乔瑞达的一声令下,芯片生产线第三次测试开始。所有机器设备开始正常运转,天车开始在空中飞驰,工作人员开始有序的忙碌,晶圆开始沿着传送带不断前进。

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